無塵室設計介紹

無塵室，也稱潔凈室，是指一個具有低污染水平的環境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。更準確地講，一個潔凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數，或者用大顆粒大小來厘定的。低級別的潔凈室通常是沒有經過**的（如沒有受控的微生物），更多的是關心空氣傳播的灰塵。

無塵室的定義：空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔凈的環境。亦即：這個環境中的微塵粒子相當少，稱之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業，例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥行業等，其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內，才不會對制程產生影響。作為生產設施，潔凈室可以占據廠房很多位置。

無塵室系統制造符合規格之潔凈空氣，連續且穩定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內的制造區。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程：外氣經由外氣空調箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后，經由回風管道間，將潔凈室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規格，通過循環風扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環帶走微塵及熱量，后經過超高性能過濾網或過濾后，供應至Fab區。